技术编号：2755255
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光刻领域，尤其涉及光刻装置的调焦调平检测装置及方法。 背景技术美国专利US4650983中记载了一种调焦调平检测装置和方法，其中采用振动反射镜来调制包含被测物体(比如半导体衬底或硅片)表面相对光刻机投影光学系统焦平面的离焦高度信息的光信号，并使经过振动反射镜调制的光信号通过光敏探测器转变成包含离焦高度信息的模拟电信号，最后再通过相敏解调(PSD)电路从模拟电信号中解调出实际的离焦高度数据。在这种调焦调平检测方案中，由于模拟电信号容易受到光、电磁和...
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