技术编号：2755540
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种紫外纳米压印装置及方法，尤其是一种卷对卷紫外纳米压印装置 及方法。背景技术自1995年纳米压印技术提出以来，人们希望通过该技术实现低成本、高分辨率、 高效率、大面积的批量制备纳米结构。但是，传统的热压印技术需要加热、高压环节，从而造 成压印环节复杂、难于控制。1999年，美国得克萨斯州大学的研究小组提出一种在室温、低 压环境下利用紫外光(UV)固化聚合物的紫外纳米压印技术。目前纳米压印技术主要包括以下几种(1)热压印。首先采用坚硬的压模毛坯加...
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