技术编号：2755883
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光电子器件领域，涉及一种基于SOI光波导的反射型热光可变光衰减 器及其制备方法。背景技术可变光衰减器是光通信系统中的关键器件之一，在密集波分复用系统中可用作光 源通道能量控制、接收器能量控制、光放大器增益平坦化、信道均衡。对可变光衰减器的特 性要求包括插入损耗低、衰减范围大、低偏振模态色散、低偏振相关损耗、低波长相关损 耗、响应时间快、体积小、功耗低、易于集成等。可变光衰减器主要有机械式可变光衰减器、 波导式可变光衰减器、液晶式可变光衰减器、微机...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。