技术编号：2755951
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于液晶显示(IXD)设备的涂布装置，尤其涉及一种具有涂布机 夹盘的涂布装置，其能通过以使用不同类型的材料形成涂布机夹盘的方式，防止用于进行 光刻胶涂布工序的涂布机夹盘的下垂，由此提高光刻胶涂布均勻性。背景技术制造半导体设备或IXD面板的工序中的光刻工序包括用于在基板(例如晶片，玻 璃或掩模)上涂布光刻胶的涂布工序、将涂布后的基板移到一设备中并在所述涂布后的基 板上以圆形形状印刷掩模电路的曝光工序、以及显影工序。在这些工序中，对IXD面板制造...
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