技术编号：2756025
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微光机电系统，主要涉及一种器件的温度调节方法及其结构 方法，特别是涉及一种温度调制光学微腔耦合系统的输出方法及其耦合结构。背景技术回音壁模式(WGM)高Q光学微腔近年来得到了广泛研究。在该模式中，激光沿着 光学微腔大圆以全反射方式传播。因此，微腔内光能量只有极小部分泄露到腔外，从而形成 了沿界面传播的高Q值光学模式。超高Q值使得此类光学微腔可应用于低阈值激光发射、 高灵敏传感器、光通讯器件等领域。在微腔的应用研究中发现制造的光学微腔和耦合器件构成...
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