技术编号：2756065
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于制造例如液晶显示装置等平板显示器(Flat Panel Display以 下称为FPD)等的多色调光掩模、用于制造该多色调光掩模的光掩模坯体(7 *卜7 7夕7 >々)、该多色调光掩模(多階調7 *卜7 7々)的制造方法和使用该多色调光掩模的图 案转印方法。背景技术例如，液晶显示装置中使用的TFT (薄膜晶体管)基板是使用在透明基板上形成有 由遮光部和透光部构成的转印图案的光掩模，经过例如5次 6次的光刻工序而制造的。近 年来，为了减少...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。