技术编号：2756122
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种利用光学透镜的扫描系统，具体涉及一种应用于激光外差干涉仪 的基于双轴MEMS反射振镜和F-Theta透镜的线性扫描系统。背景技术激光外差干涉仪以其测量精度高、速度快、对待测样品无损害、灵敏度高等优点， 在半导体硅片检测，光学玻璃生产监测，超光滑表面检测过程越来越受到广泛的应用。然 而，传统的激光外差干涉仪中的对待测样品的扫描测量是通过样品的运动来达到扫描的目 的，这种扫描方式简单且易实现，但在精度上不能满足要求。相比之下，快速光扫描技术就 显...
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