振镜扫描器的制作方法技术资料下载

技术编号:2756178

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本发明总体上涉及通过反射物反射光束,更具体地涉及在振镜扫描器 (galvanometer scanner)中使用稳定的旋转光学元件。背景技术如图1所示,常规振镜扫描器通常包括电动马达110,电动马达110具有附接到反射光学元件120的输出轴111。传感器130检测该输出轴的旋转角。传感器的输出信号与 轴的旋转角成比例。由于为了动态平衡而将光学元件的质量中心与旋转轴线对准非常困难,因而由于 扫描运动围绕该轴的X轴线旋转,从而扫描运动可以引起沿Y轴线和Z轴线的...
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