技术编号：2756822
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及可以通过采用照相平版印刷技术的树脂图案形成来进行微小树脂成形的感光性树脂组合物及图案形成方法，具体而言，本发明涉及可以形成所谓10μm级的微细树脂图案的具有高灵敏度、高分辨率的感光性树脂组合物及使用该树脂组合物的图案形成方法。背景技术 近年来，伴随着电子部件领域的尺寸微缩化(Down-sizing)，人们迫切需要一类可以进行微细树脂成形并能以高的长径比来形成“数10μm～数100μm的树脂图案”的光致抗蚀剂。然而，含有酚醛清漆树脂和作为酸发生剂光...
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