技术编号：2756825
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及形成光学薄膜用Si氧化膜所用的。背景技术 目前，用阴极射线管(CRT)作为显示装置的装置被广泛使用。由于CRT需要一定程度以上的设置空间，因此轻量·薄型的显示装置的液晶显示装置迅速普及。液晶显示装置被使用在以手机及PDA等的显示部、个人电脑的监视器、家庭用电视为代表的各种家电制品中。另外作为自发光型的显示装置，等离子显示屏(PDP)被实用化。另外，使用场致发射型冷阴极等电子发射元件的显示装置，即场致发射型显示装置(FED)的实用化正在推进。上述这...
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