技术编号:27569297
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于单晶硅制备装置领域,具体涉及一种单晶炉用新型电极。背景技术.单晶行业内连续加料工艺已普遍推广,随着一炉多根工艺的不断成熟,二次加料频次不断增加,化料时间也会相应增加,如何缩短化料时间,成为各个单晶厂重点的研究方向。现有单晶炉热场主要通过双加热器工艺对炉内的原料进行加热,化料过程中底加热器在坩埚底部进行加热起主要作用。但由于单晶炉电极与炉底是固定连接,就导致底加热器为固定位置安装,无法根据坩埚位置来调节加热器的位置,进而难以实现近距离对坩埚进行加热熔化原料。此外,现有的单晶炉电...
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