技术编号：2757019
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光子器件，是一种光栅波导耦合器，该光栅耦合器的结构可 有效降低光纤和亚微米波导间的耦合损耗，易于实现高密度光器件集成和光芯片的片上测 试，广泛应用于光通讯，芯片间光互连、光芯片检测以及高速硅电光集成中。背景技术进入新世纪以来，随着微纳光电集成技术的不断发展，芯片的集成度越来越高，器 件的尺寸不断缩小，用于传输光信号的波导逐渐缩小到了亚微米尺度。在用于通信波段的 众多光波导材料中，绝缘体上硅材料由于波导层有强大的光限制能力，易于制作亚微米级 别的低...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。