技术编号：2757707
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种根据权利要求1所述的、用于以干涉测量方式对物体进行振动测 量的设备以及一种根据权利要求10所述的、用于以干涉测量方式对物体进行振动测量的方法。背景技术已知借助干涉仪、例如激光多普勒干涉仪非接触地测量物体的振动。一般的这种 干涉仪包括辐射源、分束器和检测器。在此，由辐射源产生的原始射束借助分束器分成测量射束和基准射束。所述测量 射束被引导至物体上的测量点，至少部分由物体反射的测量射束与所述基准射束在检测器 的检测面上叠加，从而能借助检测器来测量...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。