放射线敏感性组合物、叠层体及其制造方法和电子部件的制作方法技术资料下载

技术编号:2757951

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本发明涉及放射线敏感性组合物以及在基板上具有由该放射线敏感性组合物得到的树脂膜的叠层体,更加详细地说,涉及适合于制造显示元件、集成电路元件、固体摄像元件等电子部件的放射线敏感性组合物、在基板上具有由该放射线敏感性组合物得到的树脂膜的叠层体及其制造方法。背景技术 在显示元件、集成电路元件、固体摄像元件、滤色器、黑色矩阵等电子部件中,设置作为用于防止其劣化或损伤的保护膜、用于使元件表面或布线平坦化的平坦化膜、用于保证电绝缘性的电绝缘膜等的各种树脂膜。另外,为了...
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