微小裸耦合透镜的三维固定方法技术资料下载

技术编号:2759323

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本发明涉及一种透镜的三维固定方法,特别是一种微小裸稱合透镜的三维固定方法。 背景技术近年来光电器件的尺寸越来越小,为了减小体积,耦合透镜一般都用微小裸透镜。 但裸透镜由于没有金属套不能用YAG激光将其固定在金属支架上。迄今为止的微小裸透镜 的调芯和固定都是用被动(Passive)调芯法,即在加工精度有1-2微米带有V槽的Si Micro Bench上先用机械手以亚微米的精度贴上LD芯片然后再把微小裸透镜安放在V槽的适当 的位置上,最后用焊锡或UV胶来固定...
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