一种双变密度盘的可变衰减器的制作方法技术资料下载

技术编号:2759369

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本发明涉及一种光束能量衰减器,通过改变透过率而实现对入射光束的调节。 背景技术目前单变密度盘的可变衰减器在照明、成像光学系统中应用广泛,这种单变密度 盘的可变衰减器透过率细分精度较为低,同时由于入射光束具有一定口径,这样会导致入 射光通过单变密度盘的可变衰减器后,其能量分布发生改变,从而限制了单变密度盘的可 变衰减器的应用。发明内容为了解决背景技术中所述的技术问题,本发明的目的是提出一种双变密度盘的可 变衰减器,实现对入射光高精度的衰减能力,同时避免单变密...
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