技术编号：2760089
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及正型感光性树脂组合物。背景技术 一般认为正型感光性材料是正锥的，并且是高分辨率的。就这一观点而言，由重氮萘醌和酚醛清漆树酯得到的光致抗蚀剂或使用光酸发生剂的化学增幅型材料得到了推广应用。但是当作为覆盖绝缘材料或层间绝缘材料等结构材料，使用前者时，机械强度和电性能差。同时关于后者，由于使用光酸发生剂，所以很难用于要求电气可靠性的用途当中。为了解决这些问题，本发明者曾经提供过机械强度以及电气可靠性优异的1，4-二氢吡啶衍生物和聚酰亚胺前体树脂组成的正...
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