一种基于分光比可调MMI的高消光比的硅基MZI调制器的制作方法技术资料下载

技术编号:27604525

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一种基于分光比可调mmi的高消光比的硅基mzi调制器技术领域.本实用新型涉及一种基于分光比可调mmi的高消光比的硅基mzi调制器,属于半导体硅基光电子通信器件集成技术领域。背景技术.电光调制器是硅光子中最关键的器件之一,因其具有高速,高效等特点受到数字电路及模拟光纤链路的广泛关注。在调制器中通常采用相位调制或者幅度调制的方式,其中相位调制主要通过改变载流子浓度从而改变材料的折射率,进而改变光在波导中的传播常数。幅度调制主要利用物理方式改变材料的吸收系数从而改变出射光的强度。目前最常见的方式是...
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