技术编号:27611094
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种振动测量装置,尤其涉及一种外差式激光多普勒振动测量装置,属于光学精密测量技术领域。背景技术.激光振动测量技术是一种非接触振动测量技术,因其具备精度高、灵敏度高、测量距离远等特点,日益受到各种高精测量领域的青睐,已经广泛应用于机械制造、航空航天、微细加工、建筑等领域。目前,基于激光振动测量的技术主要有:多普勒参考光振动测量技术、散斑法振动测量技术、莫尔条纹法、全息干涉法振动测量技术等。.其中,多普勒参考光振动测量技术主要利用光外差技术和光学多普勒效应实现,包括外差式振动测量技...
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