技术编号：2761271
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有其中央镜孔径引起光瞳遮蔽(obscuration)的物镜。在这种情况下，所述物镜包括两个部分物镜，第一部分物镜将第一场平面投影到中间图象上，且第二部分物镜将所述中间图象投影到第二场平面上。这样的物镜例如被用作显微平版印刷中的投影物镜或用作用于观察表面，尤其是晶片表面的检查物镜。用于微型平版印刷投影曝光装置应用中具有光瞳遮蔽和中间图象的反射式缩小物镜从EP 0 267 766 A2中是公知的。图2和图3的示范性实施例示出包括第一部分物镜和第...
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