支撑膈板组合式的龙门横梁的制作方法技术资料下载

技术编号:2761983

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本实用新型涉及一种龙门横梁,特别涉及一种膈板组合式的龙门横梁,该龙门横 梁适用于高科技制程设备。背景技术针对TFT-LCD (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display,薄膜场效应晶 体管)制程设备所应用的检测仪器的龙门横梁(Gantry)结构为例,例如大型雷射修补机 (Laser Repair)及面板缺陷检查机等,此传统的龙门横梁(Gantry)的制法,是利用不锈 钢、大理石材质或铝合金所制成。对长度为2米的钢...
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