技术编号:2762474
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。背景技术发明领域本发明涉及用于信号线路(signal wire)的蚀刻液以及用此蚀刻液制造TFT阵列板(array panel)的方法。现有技术半导体设备或显示设备的信号线路通常用作信号传输的媒介。因此这要求防止信号线路在信号传输中出现任何延迟。为此目的,信号线路可由低电阻导电材料形成,如具有最低电阻的银(Ag)形成。然而,当使用银或银合金时,很难用基于掩膜的光刻法(photolithography)在目标层上形成图案。同时,液晶显示器(LCD)是最广泛使...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。