用于线路的蚀刻液、制造线路的方法和包括此方法的制造薄膜晶体管阵列板的方法技术资料下载

技术编号:2762474

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背景技术发明领域本发明涉及用于信号线路(signal wire)的蚀刻液以及用此蚀刻液制造TFT阵列板(array panel)的方法。现有技术半导体设备或显示设备的信号线路通常用作信号传输的媒介。因此这要求防止信号线路在信号传输中出现任何延迟。为此目的,信号线路可由低电阻导电材料形成,如具有最低电阻的银(Ag)形成。然而,当使用银或银合金时,很难用基于掩膜的光刻法(photolithography)在目标层上形成图案。同时,液晶显示器(LCD)是最广泛使...
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