技术编号：2763038
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的背景本发明总地涉及在一基材上制造叠层三维结构的方法，更具体地说，涉及用于集成激光器和波导管结构的光学耦合器的制造方法。半导体器件的加工和制造技术的进步已经使得能够在晶片的表面上形成各种形状的结构，比如，用各种光敏材料施加于基材的表面和用光刻工艺来形成要制造的结构。例如，常规的光阻材料可被旋压在基材表面上，比如用光刻掩模令规定的区域曝光，以便在光阻材料冲洗之后在基材上产生图案。这样的技术可用于例如制造集成激光器和波导管，包括具有各种空腔结构的环状激光...
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