包含式光学制品的制造方法和装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2763045

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本发明涉及光学制品。更具体地说,本发明涉及形成具有改善的光学性能的多层光学制品。背景技术 许多光学系统要求装置具有特定的光学性能,尤其是,表面平度、厚度均匀性、和/或弓形。通过测量制品的表面从规定的表面外形(外形例如可以具有一定弓形)变化的情况确定制品的表面平度。通过制品从规定的厚度或外形(比如平行或楔形)变化的情况量度厚度均匀性。这些参数通常都是用每横向距离光波从规定外形变化的单位,比如波长/cm量度,此处波长是比如供测量或最终使用的特定光的一个规定波长...
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