大口径高速压电振镜的制作方法技术资料下载

技术编号:2763097

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本实用新型涉及一种以一定扫描角度和扫描频率工作的光电器件,尤其涉及一种 对于大口径红外测谱的光学系统,特别涉及一种大口径压电振镜。背景技术高速振镜主要由镜面和扫描头(或叫驱动头)构成。镜面大小由通光口径决定,随 着通光口径增加,镜面转动惯量就增大,这会严重影响高速振镜的工作频率,所以高速振镜 通光口径的扩大与工作频率的提高是矛盾的。扫描头根据不同需求有电磁式、压电式等,一 般电磁式由于驱动力和响应速度的原因,用在口径较小、频率不太高的场合,而压电式可用 于...
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