技术编号：2763653
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光学相位元件的制做方法，特别是涉及制做多功能集成二元衍射相位元件的方法领域。二元衍射光学元件是以光的衍射理论为依据，采用光学波面设计和微电子工艺加工技术综合研制而成，是九十年代新型的光学技术。它促成光学这一古老学科由折射光学迈向衍射光学，光学元件由宏观，散件向微型、高集成度发展。二元衍射光学元件主要分为位相型和振幅型两种，由于光学成像系统力求低衍射损耗以便尽可能利用光强，因此衍射位相型光学元件更具有实用上的价值。如参考文献MasasuKato...
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