技术编号：2764774
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种硅片曝光设备自动装片台的支承单元，它有园形托盘，其第一外径与装片站的进入通道相匹配，且少于硅片的直径。已知一些曝光设备的自动装片台，如美国Ultratech公司的UT-stepper(UT-分步重复曝光机)，在装片台上有一个园形托盘作为支承单元(chuck，吸盘)，其最大直径小于待曝光硅片的直径。该设备支承单元的最大宽度是受限制的，受到通入装片站内的进入槽宽度的限制，就是说在装片站内给装片台或者支承单元装上硅片一般是自动完成的。当硅片在装片台...
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