技术编号：2765369
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微型机械装置，更具体地，涉及具有一个或多个借助一铰链可以运动的可运动元件的那种装置。机电学领域中一项新近的发展是各种机械装置的微型化。典型的此类装置有超小型的齿轮、杠杆、和阀门。这些“微型机械”装置是用集成电路技术来制造，往往还制成同时带有控制电路。常见的应用实例包括加速度计、压力传感器、以及操作机构等。作为另一实例，可由微型机械的反射象素来构成空间光调制器。微型机械式空间光调制器的一种类型是数字式微型反射镜装置(数镜装置)，有时称之为可变形反射...
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