技术编号：2765439
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种刻线片预校正装置和预校正方法，具体地说，涉及一种在曝光过程中预先校正刻线片在刻线片承载平台上的预定位置的装置和方法。一般地说，在将电路印到半导体晶片上的光刻法中，将刻线片置于半导体晶片与光源间，用为光掩膜。必须仔细维护这种由玻璃制成的刻线片，因为它极易因微小的划痕或玷污而被报废。在把刻线图象曝光于液晶显示板(LCD)或干胶片表面的曝光过程中，要有一个把刻线片置载于刻线片承载平台上的安放过程。这时，重要的是要将刻线片精确地置于预定的位置，因为在...
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