用于改善光纤和集成平面波导管之间的光耦合效率的系统和锥形波导管及其制造方法技术资料下载

技术编号:2765691

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本发明一般涉及平面光波电路,并且更加具体地,涉及用于有效地将光纤耦合到平面集成波导管的光模转换器。背景技术 平面光波电路(PLC)既对短程数据又对长途电信系统发送和接收信号。为了最优操作,PLC具有诸如波导管之类的功能性光学部件。这些波导管应当在尺寸方面足够小,以便包括波导管中的锐弯管(sharpbend)在内的波导光学器件的密集集成在单个芯片上是可能的。高折射率对比材料系统很好地适用于制造PLC。这样的材料系统能够作为硅的核心层形成在硅绝缘体(SOI)基...
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