构成薄膜致动的反射镜阵列的方法技术资料下载

技术编号:2766298

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本发明涉及光学投影系统;更具体地,涉及制造供在该系统中使用的一个M×N个薄膜致动的反射镜阵列的一种改进的方法。在本技术中能利用的各种视频显示系统中,光学投影系统是已知能提供大规模高质量显示的。在这种光学投影系统中,来自一盏灯的光线均匀地照射在一个诸如M×N个致动的反射镜的阵列上,其中的各反射镜是连接在各致动器上的。这些致动器可由一种电致移位的材料制成,诸如响应作用在其上的电场而变形的压电或电致伸缩的材料。从各反射镜反射的光束入射在诸如一块遮光板的一个小孔上...
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