技术编号：2766651
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光学投影系统；且更具体地，涉及一种用于该系统中的M×N薄膜致动反射镜阵列的改进的制造方法。在现有技术的各种视频显示系统中，已知一种光学投影系统能够提供大幅的高质量显示。在这样一光学投影系统中，来自一灯的光线被均匀地照射在例如一M×N致动反射镜阵列上，其中各反射镜与各致动器相连接，这些致动器可由响应于施加于其的电场而变形的电致位移材料制成。例如为压电材料或电致伸缩材料。来自各反射镜的反射光束被入射在例如一光阑的小孔上。通过对各致动器施加一电信号...
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