离子束照射装置和离子束照射方法技术资料下载

技术编号:2766795

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本发明涉及使用离子束照射要处理的衬底从而处理该衬底的,在液晶显示器等类产品中,该装置和方法用于在液晶显示器的衬底表面上形成的配向膜上进行配向处理,或在液晶显示器的衬底表面上形成配向膜并且在配向膜上进行配向处理。背景技术 JP-A-9-218408(0011和0012栏,以及图1)(下文中称之为专利文献1)中公开了一种技术,该技术能够使离子束以预定入射角度进入在液晶显示器的衬底表面上形成的配向膜,从而对配向膜进行配向处理(即在预定方向上配向液晶分子的处理)...
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