光学投影系统中的薄膜型驱动反射镜阵列及其制作方法技术资料下载

技术编号:2767852

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本发明涉及,特别涉及一种光学投影系统中的薄膜型驱动反射镜阵列,其执行机构与反射部件之间有多个支柱,用以防止反射部件的初始偏转或倾斜,从而使反射部件的倾角一致并且比较大;以及该阵列的制作方法。一般地说,根据光调制器的光学特性,将调制器分为两组。一类是直射式光调制器,如阴极射线管(CRT)。另一类是透射式光调制器,如液晶显示器(LCD)。CRT可在屏幕上得到优质图像,但CRT的重量、体积及制作成本均随着屏幕的制作而增加。LCD具有简单的光学结构,以致LCD的重...
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