技术编号：2767982
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光学投影系统；且更具体地，涉及一种制造用于该系统的M×N薄膜致动反射镜阵列的方法，该方法可增强该薄膜致动反射镜的结构完整性。在现有技术的可用的各种视频显示系统中，已知一种光学投影系统能够以大标度提供高质量的显示。在这样一光学投影系统中，来自一灯的光被均匀地照射到例如M×N致动反射镜阵列上，其中各反射镜被与各致动器相耦合，这些致动器可由响应于施加至其的电场而变形的例如压电或电致伸缩材料的电致位移材料制成。来自各反射镜的反射的光束被入射到例如一光...
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