技术编号：2769000
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及适合例如干膜抗蚀剂的图案形成材料、配备该图案形成材料的图案形成设备和使用该图案形成材料的图案形成方法。 背景技术 近年来，图案形成材料广泛地用来形成例如布线图案等永久性图案，其中图案形成材料典型地通过将光敏树脂组合物涂布在衬底上和干燥该涂层以形成光敏层来制备。此外，例如如下制备永久性图案将图案形成材料层压在要形成永久性图案的例如铜层压片等衬底上以形成层压片，使层压片的光敏层曝光，然后使光敏层显影以形成图案和例如蚀刻等其它处理。 在与图案形成...
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