可变形镜设备的制作方法技术资料下载

技术编号:2769251

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本发明涉及一种用于改变入射光束的行进路线的可变形镜设备(deformable mirror device)(DMD),特别涉及这样一种可变形镜设备具有经改进的结构,使得可以用低驱动电压容易地改变光束的路线。通常,DMD具有许多可被静电力驱动而绕转轴转动的反射镜,用于将光束的行进路线改变一个预定的角度。DMD用在投影电视的图像显示设备中以及类似于扫描仪、复印机、传真机的光学扫描设备中。特别是当作为图像显示设备而被采用的时候,同象素数目一样多的反射镜排列在一个...
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