光学投影系统中的薄膜驱动的反光镜组的制造方法技术资料下载

技术编号:2770290

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本发明涉及一种,更具体地说,涉及一种提高光效率和防止活性基体,致动器和反光件损坏的。一般,根据光学性能的不同,光调制器分为二类。一类是直接光调制器,例如,阴极射线管(CRT);而另一类是透射光调制器,例如,液晶显示器(LCD)、数字式反光镜装置(DMD)和被驱动的反光镜组(AMA,actuated mirrorarray)。CRT投影在屏幕上的图像质量非常好,但其重量、体积和制造成本随着屏幕放大倍数的增加而增加。LCD的光学结构简单,因此LCD的重量和体积...
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