技术编号：2770530
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。背景技术 可以使用平版印刷技术利用聚合物或无机材料制造波导，在平版印刷技术中对准掩模并曝光感光材料。在这类技术中，如果要通过单模波导连接几个光学器件，器件的位置必须要精确到亚微米的公差。例如，在一种用于有源地将VCSEL(垂直腔面发射激光器)对准光纤的通用方法中，VCSEL芯片是在监视波导输出的同时对准到波导上的。典型光子模块的装配成本的一大半是在这种有源对准工艺过程中造成的。因此理想地是具有调节波导和器件位置的能力，从而放松制造过程中器件位置的定位公差的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。