技术编号:27707959
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及试验检测工具技术领域,特别是涉及一种消解管支架。背景技术.石英玻璃因具有优异的物理、化学性能,如耐高温、高纯、耐腐蚀、耐电等,在半导体制造过程中被用作优良的载体、容器,是不可或缺的支撑材料,例如单晶硅生长用石英坩埚、集成电路光刻工艺中使用光掩膜石英玻璃基板和石英玻璃晶圆、扩散工艺中使用的半导体用透明石英玻璃管、石英舟以及各种石英器件。.其中,为了保证半导体的优良性能,要求在半导体制造过程中,不能够引入杂质,这就要求制造半导体过程中使用的石英玻璃材质的载体或容器具有较高的纯度,不...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。