技术编号：2771457
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种粒子-光学装置，该装置包括配置成用来安放样品的样品保持具；配置成用来产生沿光轴照射所述样品的第一带电粒子的初级粒子束的粒子源；配置成用来检测由于所述照射从样品发出的电子(例如，次级电子)的第一检测装置；至少由所述样品保持具和所述第一检测装置形成的检测空间；以及配置成用来在样品保持具附近提供聚焦初级粒子束的磁场的浸没透镜，其中所述第一检测装置配置成用来在检测空间内提供电场，并且检测空间配置成包括气体。背景技术可从日本专利申请号为3-53811的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。