技术编号：2771768
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于光学转换、操控和扫描系统的微加工反射器，更具体地是涉及用于光学数据跟踪、储存和检索系统的微加工反射器。静电拉入是一种限制静电驱动可偏斜微加工装置的工作范围的现象。通常，拉入现象发生在非线性静电驱动胜过装置的机械悬挂能力而实现与静电力平衡时。在一扭转反射器中，诸如是1999年1月13日提交的待批美国专利申请No.09/231,317中所描述类型的，静电驱动会造成反射器片绕扭转铰链悬架所限定的轴线转动。当由两个扭转铰链所提供的回复扭力与由驱动电极...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。