技术编号：2771852
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。制造或形成IC用的导线架或彩色电视用的显像管阴罩、高密度印刷线路板、小型齿轮、薄型显示器(LCD、PDP)的电极或间隔壁等所必要的显微精密加工方法已有所谓的光加工法(Photo-Fabrication)广为普及使用。本发明是关于在该种光加工法中所使用的具有膜面保护层的光掩模原版、其制造方法以及保护层形成液的技术。对于该类光加工，有用耐蚀性覆膜包覆加工面，除去一部分，使除去的面被化学溶解除去的光蚀刻加工工法(Photo-Etching)，以及以电铸方式使金属...
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