技术编号：2771972
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在远紫外光学石版工具中的标线板的散热。现有技术在当前的光学石版技术中，在基底上的原版图案(亦称为标线板)，系通过投射深紫外线光(DUV)穿透标线板，或将远紫外线反射离开标线板，且然后使该光线通过成像光学组件而落在晶片上，以至于将原版图案复制在晶片上。欲将接近微米的图案复制在晶片上时，其要求必须使晶片与标线板相对于成像光学组件之间维持在精确的位置关系上。在DUV步骤以及扫描光学石版工具的情形时，标线板通常通过真空方式而固定在标线板台座上，但是对于E...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。