技术编号：2774126
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于变形镜的制备加工领域，具体涉及一种基于体硅MEMS加工技术制造的。背景技术 变形镜是一种可用在光学系统中进行光路畸变修正、敌我光电识别等领域的新型光学器件，在军事和民用市场两方面都有良好的前景。参考图1，传统的表面加工工艺制造变形镜通常是利用表面牺牲层工艺，即先在硅衬底上淀积一层介质膜(氮化硅或者二氧化硅)，该层膜是充当绝缘层；在绝缘层上分别淀积第一层多晶硅1、第一层牺牲层和第二层多晶硅2，在对变形镜的控制中多晶硅1和多晶硅2充当静电控制平板电容...
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