技术编号：2774334
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及镀膜机，特别是一种。背景技术由于紫外光波长短，热效应不强等独特特性，使其广泛应用于工业、医学、天文、侦破等领域。而紫外薄膜正是支持紫外光路系统的重要元件，它们的光学性能影响制约着整个系统的效率。近年来，对紫外薄膜的需求不断增长，给紫外膜的发展带来了新的挑战，薄膜元件光学性能的改善是提高紫外光路系统的整体性能的关键之一。对于多层膜的制备，除了选择适当的膜料、蒸发工艺以及保证膜厚均匀性以外，还需要精确监控每一层膜的厚度。光学监控是高精密镀膜的首选监控...
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