技术编号：2774374
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种极紫外光20nm～40nm光谱发生器。是超大规模集成电路线宽15nm～30nm纳米线路的光刻工艺与纳米显微镜的光谱光源，是急需开发的新型极紫外光光谱发生器。在自然界地球大气层外太空人类已探测到小于是115nm部分的极紫外光的总能量是太阳光谱到地球大气层外时单位面积的0.0001％部份，这样小的能量，人类就是在外太空生产超大规模集成电路都是十分困难的，况且40nm以下光谱的太阳能量还比40nm至115nm能量小得多。人类活动就是认识自然，按...
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