二元光学器件变灰度掩模制作方法及装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2774382

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本发明涉及精密光学仪器领域,具体涉及二元光学器件的制作方法及由该方法所设计的装置。背景技术二元光学是基于光波衍射理论发展起来的一个新兴光学分支,是光学与微电子技术相互渗透、交叉而形成的前沿学科。二元光学器件具有体积小、重量轻、衍射效率极高、易复制、造价低等特点,并能实现传统光学难以完成的微小、阵列、集成及任意波面变换等新功能。如二元光学器件在多通道微型传感系统中可用作望远混合光学系统、光束灵巧控制、多通道处理、探测器阵列和自适应光互连;Veldkamp将二...
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