透射率连续变化的振幅型超分辨光瞳滤波器的制作方法技术资料下载

技术编号:2774432

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本发明涉及光学超分辨技术,是一种径向透射率连续变化的振幅型超分辨光瞳滤波器,可以广泛应用于光学成像系统和光束聚焦扫描系统,也可用于空间光通信中激光束远场衍射斑的压缩。背景技术在微电子加工、光刻技术、共焦显微扫描和光存储技术中都希望获得比艾里斑还小的聚焦光斑,根据经典的衍射极限D=λ2NA,]]>其中λ为入射光的波长,NA为聚焦物镜的数值孔径,这就要求更短的激光波长或更大的数值孔径。而通过缩短波长和提高物镜的数值孔径来提高系统的分...
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