技术编号：2774606
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种制造光波导的方法及其装置，特别是一种用质子交换制造铌酸锂光波导的方法及其装置。e、在进行d步骤的同时将铌酸锂基片装到石英夹具上，放入烧杯中，将装置有铌酸锂基片的烧杯放入到烘箱中预热至250℃并烧透；f、在石英管道内的混合溶液温度和铌酸锂基片温度均达到250℃后，将装置有铌酸锂基片的石英夹具迅速放入到石英管道的混合溶液中进行质子交换；g、通过石英拉杆对石英夹具进行搅动，让混合溶液和铌酸锂基片充分均匀接触，依此持续进行200分钟的质子交换后取出石...
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